法兰式钛衬管，是磁控溅射旋转管靶的支撑背管，两端一体焊接 / 机加工带安装法兰，中空结构，内部走冷却水，外部钎焊或者热喷涂锆、钛、铬、ITO 等靶材层。整套衬管搭载在旋转溅射设备上，承担结构支撑、水冷换热、旋转定位、真空密封接口四大功能。
常用牌号：TA1、TA2（GR1、GR2 纯钛），部分工况选用 TA10 钛合金；外径、壁厚、管长、法兰孔位、密封槽均可按设备图纸定制。
涂层特性与加工工艺
材料特性
纯钛衬管塑性好、焊接性能稳定，耐冷却水腐蚀，真空放气率低；热传导性能满足溅射高功率散热需求，热膨胀系数适中，钎焊绑定靶材层时，热应力可控，降低脱层风险。钛材质无磁性，不会干扰内部磁棒磁场。
制备工艺
1. 管材制备：钛坯挤压、热轧、冷轧制成无缝钛管；
2. 法兰加工：钛锻件精密机加工法兰盘，预留螺栓孔、定位止口、O 型圈密封槽；
3. 组对焊接：钛管与法兰采用真空氩弧焊接，焊缝探伤检测，杜绝漏水、漏气；
4. 精加工：外圆车削、校直，保证同轴度；
5. 水压检漏 + 真空除气处理，防止镀膜过程出气、漏水；
6. 表面洁净处理，为后续靶材层钎焊 / 喷涂做预处理。
核心优势
1. 一体法兰结构：两端法兰直接对接设备旋转主轴，安装定位便捷，同轴度稳定，长时间高速旋转不易跳动；
2. 可靠水冷通道：中空内腔通入循环冷却水，快速带走溅射热量，支撑大功率连续镀膜；
3. 真空密封性佳：法兰端面可加工密封槽，搭配 O 型圈，适配高真空镀膜腔体，放气少；
4. 耐腐蚀、寿命长：钛管耐冷却水介质腐蚀，相比不锈钢衬管，长期使用不易锈蚀污染冷却水；
5. 适配多种靶材：可作为锆管靶、钛管靶、氧化物陶瓷旋转靶的支撑基体，适配钎焊、热喷涂两种复合工艺；
6. 易维护：靶材消耗完毕后，衬管可拆解回收，重新喷涂 / 钎焊靶材层，降低耗材成本。
典型应用
1. Low-E 建筑玻璃、汽车功能玻璃旋转溅射产线；
2. 光伏薄膜、柔性光学膜卷对卷镀膜；
3. 装饰硬质膜（ZrN、TiN）连续 PVD 镀膜；
4. 大面积光学涂层、导电膜生产设备；
5. 半导体、显示行业大尺寸旋转管靶配套背管。